单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

外形尺寸：长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)

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单片湿法设备

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单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

设备功能及信息概述：

外形尺寸	长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
设备重量	3600Kg
设备特点	特别针对强硬很难去除的光阻而设计，可长时、高温、循环、浸泡的槽式结构节省药液使用量提高光阻去除率，高压冲洗腔二次高效去除光阻（Max3000psi）, 筛网过滤大片的光阻搭配适合需求的过滤器的设计提高工艺能力，也避免过滤器的大量消耗，药液回收重复利用
设备结构	LP+ Buffer station+ Soaking tank + Hijet Chamber+ Final Clean+ Regulator & Main Power Box (Buffer Tank Area)
清洗/蚀刻形式	干进干出
干燥、控制形式	Spin +N2 Dryer、PC +PLC
安全性能	防漏、液位检测、wafer检测、防呆设计等配备齐全
可靠性能	1. Particle remove rate ≥95%。2.No PR residue with 100xOM inspection。3.环境FFU过滤。4.循环过滤系统。5.全自动/手动扫码系统
性能参数	电压：3相4线，AC208,50Hz；功率：约18Kw（视设备配置定）；CDA压力：5-7Kg/cm²
性能参数	CDA流量：200-600LPM；PN2压力：5-7Kg/cm²；PN2流量：50-400LPM；排风量≥200Pa

北京分公司

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